1 前言
太陽能作為一種取之不盡的清潔能源,它的開發利用正引起人類的極大關注,商業化利用太陽能已成為世界趨勢。太陽能電池就是由此而誕生的太陽能利用工具。硅 系的太陽能電池包括:單晶硅電池、多晶硅薄膜電池等,其中單晶硅大陽能電池轉換效率最高,光電轉換率可以達到23%,在現階段的大規模應用和工業生產中占 據主導地位。近年來,隨著半導體制造技術的不斷成熟完善,硅片制造成本不斷降低,但是太陽能電池所用硅片的切割成本卻一直居高不下,要占太陽能電池總制造 成本的30%以上。為了降低硅片加工期間發生崩邊的可能性,提高材料利用率,硅片的切割傾向于使用薄刀片。目前使用的普通刀片可大致分為厚度 15~100μm的電鍍刀片和100~500μm的樹脂刀片兩種。在我國,目前生產電鍍金剛石超薄切割片技術還不成熟,主要還處于試驗研究階段，生產所需 的超薄切割片主要依賴從美國、德國和日本進口,因此,高精度金鋼石切割工具的研制技術是我國工具及微電子行業迫切需要解決的問題。
2 金剛石超薄切割片研究現狀
2.1 固化樹脂法
樹脂法制造金剛石超薄切割片是一種可以得到很好保型性的方法,一般采用熱固性酚醛樹脂作為結合劑,它的做法是將金剛石磨粒與樹脂混合,然后用熱壓法燒結和 熱固化后進行研磨加工,這種工序需要數小時,因此生產成本較高。隨著技術的進步,熱固化樹脂逐漸被光固化樹脂所替代,光固化樹脂主要由基礎聚合物(光交聯 性聚合物)、活性稀釋劑(光聚合性單體)、光引發劑以及添加劑組成。它和熱固化樹脂最本質的區別在于其固化過程是吸收適當波長的光而引起的化學反應過程, 它從液體轉變為固體是分子量增加的結果,而不是溶劑揮發所造成的,故具有快速固化、無污染、節省能源的優點,但制約因素是其原材料價格較高。